Dies sind zwei Aufnahmen eines supraleitenden Filmes auf einem 4-Zoll
Wafer. Der größte Teil des Filmes ist zwar supraleitend, hat
aber eine erniedrigte kritische Stromdichte (grün). Nur ein kleiner
ringförmiger Bereich ist gut supraleitend (rot), und der Film ist
nicht bis zum Rand des Wafers vorhanden (blau). Am äußeren Messbereich
ist noch ein Rest supraleitender Film vorhanden, was sich aus den Druckverteilungen
bei der Filmdeposition erklären läßt.
Durchmesser Messbereich: 90 mm - Durchmesser Wafer: 102 mm
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Bei diesem Film ist eine unterschiedliche Verteilung der Filmgüte
vorhanden. Es gibt einen Außenbereich mit gutem supraleitendem Film,
aber auch in dem großen gleichmäßigen Bereich ringförmige
Bereiche unterschiedlicher Güte. Eine genaue Interpretation der Messergebnisse
muß zusammen mit den Filmherstellern erfolgen. Mit Sicherheit liefern
die Messungen genaue Informationen, mit Hilfe derer die Depositionsparameter
optimiert werden können.
Durchmesser Messbereich: 90 mm - Durchmesser Wafer: 102 mm
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Weitere Messungen gibt es HIER